Atzverfahren fur die Mikrotechnik - download pdf or read online

By Dr. Michael Kohler(auth.)

ISBN-10: 3527288694

ISBN-13: 9783527288694

ISBN-10: 3527602917

ISBN-13: 9783527602919

Content:
Chapter 1 Einfuhrung (pages 1–3):
Chapter 2 Besonderheiten mikrotechnischer Atzprozesse (pages 5–32):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.1 ? 3.4 (pages 33–96):
Chapter three Na?atzverfahren: Abschnitte 3.5 ? 3.6 (pages 96–126):
Chapter four Trockenatzverfahren (pages 127–197):
Chapter five Mikroformgebung durch Atzen von lokal verandertem fabric (pages 199–205):
Chapter 6 Ausgewahlte Vorschriften (pages 207–369):

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Schwefelwasserstoff bildet auf Oberflächen vieler Metalle Kontaminationen in Form von Sulfiden. Viele Sulfide sind schwerlöslich und werden dabei bei einfachen Spülprozessen oder auch einer Behandlung in nicht-oxidierenden Säuren nicht entfernt. Die in kleinen Konzentrationen in belasteter Luft vorkommenden sauer oder basisch wirkenden Gase sind in Wasser löslich und reichern sich deshalb auch in den Oberflächenfilmen von physisorbiertem Wasser an, die sich auf vielen Festkörpern bilden. Sie gehen mit sehr vielen Materialien, insbesondere in Anwesenheit von Wasser, Reaktionen ein, die zur Bildung von Salzen und Komplexverbindungen, aber auch von Oxiden und Hydroxiden auf der Oberfläche führen.

7). Beim Abtrag eines festen Materials durch Einwirkung einer Flüssigkeit werden die Bestandteile des festen Materials aus der festen in die flüssige Phase überführt. Dazu müssen die Bindungskräfte zwischen den Teilchen des 1 Vgl. B. F. Bogenschütz et al. Allen et al. Allen (1987) Ätzverfahren für die Mikrotechnik. Michael Köhler Copyright © 1998 WILEY-VCH Verlag GmbH, Weinheim ISBN: 3-527-28869-4 34 3 Naßätzverfahren Festkörpers überwunden werden. Die Festkörperbestandteile werden in lösliche chemische Verbindungen umgewandelt, deren Teilchen durch Diffusion und Konvektion von der Oberfläche weg in das Innere des Ätzbades transportiert werden können.

Die erforderliche Ätzzeit tätz ist dabei aus der abzutragenden Materialdicke dätz und der Ätzrate r gegeben: 30 2 Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse tätz = cWr (20) Da die Ätzrate immer nur mit einer begrenzten Genauigkeit ermittelt werden kann und außerdem in der Start- und der Endphase des Ätzens der absolute Abtrag nicht gut reproduzierbar ist, wird in vielen Fällen nicht einfach nach einer bestimmten, vorher festgelegten Zeit geätzt, sondern der Ätzprozeß wird auch in standardisierten technischen Verfahren in seinem zeitlichen Verlauf verfolgt.

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